半導体産業
Kynar® PVDFは高純度かつ耐薬品性をもつ材料が要求される半導体製造業に貢献してきました。
半導体産業の長い歴史の中で、Kynar® PVDFは高い純度と耐薬品性を評価され、半導体チップ製造施設内の配管、ウェットベンチ、およびその他の機器用に長年使用されてきました。
半導体産業における用途
Kynar® PVDFは半導体製造設備内に多数の用途があります：
- 高純度の配管システム： Kynar® PVDFパイプは、繊細な材料を輸送するために使用され、半導体製造工程の完全性を維持するために異物による汚染を最小限に抑えます。
- ウェットベンチ：ウエハーを洗浄するために必要なこの装置はKynar® PVDFの高い純度と耐薬品性の恩恵を受けています。
-
タワーパッキン： 蒸留やスクラブ洗浄などのプロセスにおいて、Kynar® PVDF製のタワーパッキンは腐食性の化学薬品に対して優れた耐性を発揮します。
-
タンク、ポンプ、バルブ： 過酷な化学薬品にさらされることの多いこれらの部品は、Kynar® PVDFを使用することで耐久性と薬品耐性が向上します。
- ロッド、シートなどのカスタム部品：Kynar® PVDFの適応性により、オーダーメイドが多く求められる半導体製造に不可欠な様々なカスタム部品の作成が可能になります。
Kynar® PVDF は、厳しい使用条件下でも効果を発揮します：
高温の酸に対する耐性：半導体プロセスで一般的なフッ化水素、硫酸、塩酸などの強力な化学薬品に耐性を有しています。
18メガオームの脱イオン (DI) 水との親和性： 半導体製造に使用される超純水がKynar® PVDF の完全性を損なうことはありません。
半導体用途に Kynar® PVDF を選択する理由
- 高純度：厳しい業界基準に準拠した Kynar® PVDF は溶出物や抽出物がほとんどなく、半導体製造において重要な要素である異物による汚染を最小限に抑えます。
- FM 4910 準拠：優れた防炎性と防煙性を有するKynar® PVDF は、厳格な火災安全基準に準拠しており半導体クリーン ルームで推奨される材料です。
- SEMI F57 準拠：この認証は、半導体製造プロセスに不可欠な超純水および液体化学薬品供給システムでの使用に対する適合性を強調しています。
- 容易な溶接性： Kynar® PVDF は赤外線溶接法で接合でき、配管システムの堅牢な接合を保証します。
- 耐薬品性： Kynar® PVDF は半導体製造環境で必須となる熱酸や脱イオン水に対しても安定です。
Kynar® PVDF は半導体産業に不可欠な製品です。高純度、優れた耐薬品性、業界規格への準拠により、配管システムからカスタム部品に至るまでさまざまな用途に最適です。 半導体業界が進化し続ける中、Kynar® PVDF の信頼性と多用途性は、今後もその成長と革新を支えます